IC掩模版基板
適用于半導(dǎo)體、光伏等行業(yè)應(yīng)用。
公司采用基于自主工藝制造的高品質(zhì)合成石英,可滿足半導(dǎo)體、光伏、工業(yè)等行業(yè)對(duì)石英材料的嚴(yán)苛要求，為客戶提供材料性能優(yōu)異、穩(wěn)定、可定制化的大尺寸石英材料及產(chǎn)品。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
經(jīng)過(guò)20余年技術(shù)研發(fā)及工藝探索，公司熔石英技術(shù)水平已經(jīng)達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先，多數(shù)產(chǎn)品指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，尤其紫外光學(xué)石英玻璃的光學(xué)非均勻性指標(biāo)為國(guó)內(nèi)同行業(yè)中首家可以達(dá)到2以內(nèi)（1.985×10-6）以內(nèi)的企業(yè)，在現(xiàn)有產(chǎn)品的非均勻性指標(biāo)穩(wěn)定性可維持在4之內(nèi)。
a.國(guó)內(nèi)首創(chuàng)立式單燈集成沉積裝置，集成原料預(yù)處理、反應(yīng)合成和石英生長(zhǎng)三大模塊
b.超精準(zhǔn)燃燒管控和液態(tài)物蒸發(fā)創(chuàng)造了恒定的流場(chǎng)，確保高純度
c.優(yōu)異的燃燒器熱場(chǎng)匹配先進(jìn)的沉積爐溫場(chǎng)，形成最佳的合成界面和產(chǎn)品截面
d.先進(jìn)的自動(dòng)化控制的適應(yīng)生長(zhǎng)獲得軸向一致性及軸對(duì)稱性
e.通過(guò)精密槽沉熱成型抑制橫向延展后的缺陷分布和改善二次缺陷
f.自主研發(fā)多級(jí)精密退火工藝減少了應(yīng)力影響
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光學(xué)性能好
覆蓋紫外到紅外 -
軟化溫度高
耐熱性強(qiáng) -
熱膨脹系數(shù)低
抗熱沖擊
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